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申请/专利权人：深圳铱创科技有限公司

摘要：本发明公开了一种不溶性阳极及脉冲电镀设备。本发明的不溶性阳极包括涂层阳极和防护阳极，涂层阳极的表面涂设有活性材料。本发明的不溶性阳极适用于脉冲电镀工艺中，在电镀的过程中，待镀工件放置于防护阳极相对涂层阳极的另一侧，防护阳极与涂层阳极之间存在间隙，此时待镀工件与防护阳极的距离更近，且涂层阳极在防护阳极上的投影位于防护阳极的外边缘的内部，从而防护阳极遮挡住涂层阳极。在倒极过程中，电解液中的铜离子会优先在靠近待镀工件的防护阳极上析出，能够避免涂层阳极上析出铜单质而破坏涂层阳极表面的活性材料，提高涂层阳极的使用寿命，并提升镀铜的均匀性。

主权项：1.不溶性阳极，其特征在于，包括：涂层阳极，所述涂层阳极的表面设置有活性材料层；防护阳极，所述防护阳极位于所述涂层阳极的一侧，所述防护阳极与所述涂层阳极之间具有间隙，所述防护阳极用于设置在待镀工件与所述涂层阳极之间，所述涂层阳极在所述防护阳极上的投影位于所述防护阳极的外边缘的内部，所述防护阳极与所述涂层阳极电性连接；所述涂层阳极设置有多个第一连接孔，所述防护阳极于所述第一连接孔的对应位置设置有第二连接孔，所述不溶性阳极还包括多个导电连接件和多个第一固定件，所述导电连接件穿设于所述第一连接孔中和对应位置的所述第二连接孔中，所述第一固定件与所述导电连接件连接，并用于将所述涂层阳极和所述防护阳极固定于所述导电连接件上；所述不溶性阳极还包括多个挂耳，多个所述挂耳沿所述涂层阳极的宽度方向设置，所述挂耳包括第一延伸部，所述第一延伸部与所述涂层阳极连接；所述第一延伸部设置于所述第一连接孔的对应位置的一侧，所述第一延伸部的宽度大于所述第一连接孔的直径，并于所述第一连接孔相对应位置设置相应的通孔；所述导电连接件穿设于所述通孔之中，所述第一固定件连接所述导电连接件并将所述第一延伸部连接于所述涂层阳极；所述第一延伸部由所述涂层阳极的长度方向的一侧延伸至所述涂层阳极的长度方向的另一侧的外部，沿所述长度方向，所述涂层阳极设有多个所述第一连接孔，所述防护阳极设有多个所述第二连接孔，所述不溶性阳极包括多个所述导电连接件以及多个所述固定件，各所述导电连接件的两端分别对应穿设一个所述第一连接孔以及一个所述第二连接孔，且各所述固定件一一对应将所述导电连接件连接于所述第一延伸部。

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