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申请/专利权人：爱德华兹有限公司
摘要：一种多级旋转真空泵，包括：定子，包括多个泵送级；至少一个级间分隔件，其将两个相邻的泵送级分开；所述至少一个级间分隔件包括两个壁，所述两个壁在其间限定腔，上游壁界定所述两个相邻泵送级中的上游泵送级，并且下游壁界定所述两个相邻泵送级中的下游泵送级。所述腔包括减压流体流动路径的至少一部分，所述减压流体流动路径提供从所述上游级的出口部分朝向所述上游级的入口部分或朝向排出口的路径，所述减压流体流动路径包括孔口，所述孔口包括阀座；以及构造成在压缩状态和伸长状态之间移动的减压阀，该减压阀在处于伸长状态时密封孔口，并且构造成响应于上游级中的压力上升到预定值以上而移动到压缩状态，使得孔口不被阻塞。
主权项：1.一种多级旋转真空泵，包括：定子，包括多个泵送级；至少一个级间分隔件，其将两个相邻的泵送级分开；所述至少一个级间分隔件包括两个壁，所述两个壁在其间限定腔，上游壁界定所述两个相邻泵送级中的上游泵送级，并且下游壁界定所述两个相邻泵送级中的下游泵送级；所述腔包括减压流体流动路径的至少一部分，所述减压流体流动路径提供从所述上游泵送级的出口部分朝向所述上游泵送级的入口部分或朝向排出口的路径，所述减压流体流动路径包括孔口，所述孔口包括阀座；以及减压阀，被构造成在压缩状态和伸长状态之间移动，所述减压阀在处于所述伸长状态时密封所述孔口，并且被构造成响应于所述上游泵送级中的压力上升到预定值以上而移动到所述压缩状态，使得所述孔口不被阻塞；其中，所述减压阀包括用于将所述阀可释放地保持在所述压缩状态的保持装置，所述真空泵包括用于接收所述阀的固定端的凹部。
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权利要求：
百度查询： 爱德华兹有限公司 包括减压阀的真空泵和减压阀的组装方法
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