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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
摘要：本发明提供一种可控性高的滑阀式流量控制阀。滑阀式流量控制阀100具备：套管104，形成有供给口130、控制口132及排气口134；及阀芯106，以能够在套管104内沿着轴向移动的方式容纳于套管104内且具有阀体120，该滑阀式流量控制阀100通过阀体120来控制控制口132的开口面积从而控制流量。内部泄漏量的最大值与最小值之差为规定的阈值以下，其中，该内部泄漏量为在切断控制口132的状态下从供给口130供给的气体从排气口134排出的流量。
主权项：1.一种滑阀式流量控制阀，其具备：套管，形成有供给口、控制口及排气口；及阀芯，以能够在所述套管内沿着轴向移动的方式容纳于所述套管内且具有阀体，所述滑阀式流量控制阀通过所述阀体来控制所述控制口的开口面积从而控制流量，所述滑阀式流量控制阀的特征在于，所述阀芯通过静压气体轴承以未与所述套管接触的方式被所述套管支承，内部泄漏量的最大值与最小值之差为规定的阈值以下，其中，所述内部泄漏量为在切断所述控制口的状态下从所述供给口供给的气体从所述排气口排出的流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友重机械工业株式会社 滑阀式流量控制阀及其制造方法
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