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申请/专利权人：苏州易缆微光电技术有限公司;苏州易缆微半导体技术有限公司
摘要：本发明公开了一种基于慢波电极的薄膜铌酸锂电光调制器及制备方法，包括硅衬底和薄膜铌酸锂波导层，所述薄膜铌酸锂波导层包括马赫曾德尔结构，在马赫曾德尔结构每条波导分支臂的两侧分别设置信号电极和接地电极，其特征在于，所述信号电极包括慢波电极段和条形电极段，所述慢波电极段与所述条形电极段相连接；通过调整条形电极段的宽度以及条形电极段与接地电极的间距来调整条形电极段的特征阻抗，使其与慢波电极段的特征阻抗相匹配；通过调整慢波电极段的长度以及条形电极段的长度，使得光波群时延与微波群时延相等，实现速度匹配。进而实现高带宽、低驱压的薄膜铌酸锂电光调制器。
主权项：1.一种基于慢波电极的薄膜铌酸锂电光调制器，包括硅衬底和薄膜铌酸锂波导层，所述薄膜铌酸锂波导层包括马赫曾德尔结构，在马赫曾德尔结构每条波导分支臂的两侧分别设置信号电极和接地电极，其特征在于，所述信号电极部分采用慢波电极，所述信号电极包括慢波电极段和条形电极段，所述慢波电极段与所述条形电极段相连接，所述慢波电极段为条形电极结构连接着周期性排列的T形结构组成，所述慢波电极段对应的接地电极上设置有与所述慢波电极段的T形结构对应的T形结构；通过调整条形电极段的宽度以及条形电极段与接地电极的间距来调整条形电极段的特征阻抗，使其与慢波电极段的特征阻抗相匹配；所述条形电极段的宽度大于所述慢波电极段的条形电极结构的宽度；通过调整慢波电极段的长度以及条形电极段的长度，使得光波群时延与微波群时延相等，实现速度匹配；所述电光调制器的微波与光波速度相匹配的满足条件为： ，其中：为慢波电极段的微波折射率；为慢波电极段光波群折射率；为条形电极段微波折射率；为条形电极段光波群折射率；为慢波电极段的长度；为条形电极段的长度。
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权利要求：
百度查询： 苏州易缆微光电技术有限公司 苏州易缆微半导体技术有限公司 基于慢波电极的薄膜铌酸锂电光调制器及制备方法
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