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申请/专利权人：西安西炉特种电炉有限公司
摘要：本实用新型涉及沉积炉技术领域，具体涉及一种多腔式化学气相沉积炉，包括上炉体、下炉体、升降机构和支撑组件，支撑组件包括卡板、固定板、弹簧、框架、基座、支架和吸盘；首先将基座放置于指定位置处，并将支架展开，使得支架底部的吸盘能够稳定吸附在地面，此时，根据下炉体的大小，将框架内的弹簧压缩，使得固定板跟随移动，进而方便工作人员将下炉体放置于框架内，此时，松开弹簧，弹簧开始复位，推动固定板移动，使得卡板随之移动，滑入设置于下炉体的凹槽内，将下炉体的位置卡住，同时，将上炉体安装至下炉体侧边的升降机构上，方便后续的使用，从而解决现有设备在安装时不能将其位置固定的问题。
主权项：1.一种多腔式化学气相沉积炉，包括上炉体、下炉体和升降机构，所述下炉体设置于所述下炉体的底部，所述升降机构设置于所述下炉体的侧边，其特征在于，还包括支撑组件，所述支撑组件包括卡板、固定板、弹簧、框架、基座、支架和吸盘；所述卡板与所述下炉体滑动连接，并位于所述下炉体的一侧，所述固定板与所述卡板固定连接，并位于所述卡板的一侧，所述弹簧与所述固定板固定连接，并位于所述固定板远离所述卡板的一侧，所述框架与所述弹簧固定连接，并位于所述弹簧远离所述固定板的一侧，所述基座与所述框架固定连接，并位于所述框架的底部，所述支架与所述基座固定连接，并位于所述基座的一侧，所述吸盘与所述支架固定连接，并位于所述支架的底部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安西炉特种电炉有限公司 一种多腔式化学气相沉积炉
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