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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种气相沉积硅碳负极尾气回收系统，属于硅碳负极尾气处理领域，为了解决气相沉积硅碳负极尾气处理过程带来的环境污染的问题，本实用新型其包括有过滤装置、尾气输送管、空气换热器、精馏分离一塔、精馏分离二塔、第一塔顶冷凝器、第二塔顶冷凝器、分子筛纯化装置、氢气储罐、硅烷储罐、甲烷储罐；本实用新型的优点：通过精馏分离一塔、精馏分离二塔、第一塔顶冷凝器、第二塔顶冷凝器、分子筛纯化器的配合下对气相沉积硅碳负极安全、高效的分离、提纯、回收利用，实现废气零排放，保护环境，降低了企业的生产成本。
主权项：1.气相沉积硅碳负极尾气回收系统，其特征在于，其包括有过滤装置、尾气输送管、空气换热器、精馏分离一塔、精馏分离二塔、第一塔顶冷凝器、第二塔顶冷凝器、分子筛纯化装置、氢气储罐、硅烷储罐、甲烷储罐；所述过滤装置的入口与尾气输送管连接，所述过滤装置的出口与所述空气换热器的入口管线连接，所述空气换热器的出口分别与所述精馏分离一塔的塔釜再沸器的入口、所述精馏分离一塔的入口管线连接，所述精馏分离一塔的塔釜再沸器的出口与所述精馏分离一塔的入口管线连接，所述精馏分离一塔的液体出口与所述硅烷储罐的入口管线连接；所述精馏分离一塔的顶端气体出口分别与所述精馏分离二塔的塔釜再沸器的入口、所述精馏分离二塔的入口管线连接，所述精馏分离二塔的塔釜再沸器的出口与所述第一塔顶冷凝器的壳程入口管线连接，所述第一塔顶冷凝器的管程液体出口与所述精馏分离一塔的顶部入口管线连接，所述第一塔顶冷凝器的管程气体出口与所述精馏分离二塔的入口管线连接；所述精馏分离二塔的液体出口与所述甲烷储罐的入口管线连接，所述精馏分离二塔的顶端气体出口与所述第二塔顶冷凝器的壳程入口管线连接，所述第二塔顶冷凝器的管程气体出口与所述分子筛纯化装置的入口管线连接，所述分子筛纯化装置的出口与所述氢气储罐的入口管线连接，所述第二塔顶冷凝器的管程液体出口与所述精馏分离二塔的顶端入口管线连接。
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权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 气相沉积硅碳负极尾气回收系统
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