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申请/专利权人：上海矽昊电子技术有限公司
摘要：本申请涉及一种曝光机用透镜修正机构，涉及光刻曝光技术的领域，其包括滤光片与夹具，滤光片可拆卸固定在夹具上，夹具与曝光机的机体可拆卸固定连接，且滤光片位于曝光机的投影透镜与载物台之间；以及：杂散光检测模块，与夹具固定连接，架设在载物台的上方，用于检测曝光区域旁侧的光强并输出杂散光强信号；信号处理模块，信号输入端与杂散光检测模块的信号输出端信号连接，用于接收光强信号并比对、并在杂散光强大于设定值时输出警示信号；报警模块，与夹具固定连接，信号输入端与信号处理模块的信号输出端信号连接，用于接收警示信号并运作。本申请可减少杂散光线对曝光机加工效果造成的不良影响。
主权项：1.一种曝光机用透镜修正机构，其特征在于，包括滤光片2与夹具1，所述滤光片2可拆卸固定在所述夹具1上，所述夹具1与曝光机4的机体可拆卸固定连接，且所述滤光片2位于曝光机4的投影透镜44与载物台5之间；以及：杂散光检测模块，与所述夹具1固定连接，架设在载物台5的上方，用于检测曝光区域旁侧的光强并输出杂散光强信号；信号处理模块，信号输入端与所述杂散光检测模块的信号输出端信号连接，用于接收所述光强信号并比对、并在杂散光强大于设定值时输出警示信号；报警模块，与所述夹具1固定连接，信号输入端与所述信号处理模块的信号输出端信号连接，用于接收所述警示信号并运作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海矽昊电子技术有限公司 一种曝光机用透镜修正机构
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