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申请/专利权人：天津市环智新能源技术有限公司
摘要：本实用新型提供一种硅片缓存系统，所述缓存系统循环运行于具有产能差的生产工序之间，其包括：承载装置、识别装置、缓存单元和控制装置，所述承载装置中配置有硅片保护介质；所述识别装置用以识别所述承载装置的属性信息；所述缓存单元用以转运所述承载装置；所述控制装置用以接收并分析所述属性信息，控制所述承载装置的转运方向。本实用新型利用盛有硅片保护介质的承载装置对硅片进行储存，并根据生产工序二的闲忙状态，有序转运承载装置，通过承载装置运送路径或存放时间，来平衡线生产工序一和生产工序二之间的产能差，使生产顺行并提高生产效率，同时避免非计划性停机带来的损失。
主权项：1.一种硅片缓存系统，循环运行于具有产能差的生产工序之间，其特征在于，包括：承载装置；识别装置，用以识别所述承载装置的属性信息；缓存单元，用以转运所述承载装置；控制装置，用以接收并分析所述属性信息，判断所述承载装置的空满状态及储料时长，控制所述承载装置的转运方向；所述缓存单元包括：输送线，可向生产工序一和或生产工序二转运所述承载装置；缓存库，其中设有nn≥2个用于安置所述承载装置的库位；移载装置A，位于所述缓存库外部，可在所述输送线、所述缓存库、所述生产工序一和所述生产工序二的任意两者之间转运所述承载装置；移载装置B，位于所述缓存库内部，可将所述承载装置从所述库位转入或转出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津市环智新能源技术有限公司 一种硅片缓存系统
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