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申请/专利权人：上海富柏化工有限公司;珠海松柏科技有限公司;深圳市松柏科工股份有限公司
摘要：本发明涉及一种硅片切割液，其包括以下质量百分比的组分：20~30%的湿润剂、2~5%的增溶剂、20~30%的润滑剂、1.5~3.5%的冷却剂、1.0~2.0%的防锈剂、0.3~0.7%的杀菌剂、0.3~0.7%的%的螯合剂、0.1~0.5%的电荷调整剂和余量水。其中，润滑剂包括AirDynol607表面活性剂、聚醚PE6400和465润湿剂中的任意一种或其组合；冷却剂包括异己二醇、聚乙二醇200、二甘醇和三甘醇中的任意一种或其组合；防锈剂包括水基防锈用表面活性剂、三乙醇胺硼酸酯和植酸中的任意一种或其组合。本发明提供一种低电导率、低粘度且防锈效果佳的硅片切割液，提高硅片切割效率和成品质量。
主权项：1.一种硅片切割液，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：20~30%的湿润剂、2~5%的增溶剂、20~30%的润滑剂、1.5~3.5%的冷却剂、1.0~2.0%的防锈剂、0.3~0.7%的杀菌剂、0.3~0.7%的%的螯合剂、0.1~0.5%的电荷调整剂和余量水，其中，所述润滑剂包括AirDynol607表面活性剂、聚醚PE6400和465润湿剂中的任意一种或其组合；所述冷却剂包括异己二醇、聚乙二醇200、二甘醇和三甘醇中的任意一种或其组合；所述防锈剂包括水基防锈用表面活性剂、三乙醇胺硼酸酯和植酸中的任意一种或其组合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海富柏化工有限公司 珠海松柏科技有限公司 深圳市松柏科工股份有限公司 硅片切割液
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