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申请/专利权人：江苏微镀新能源科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种PVD真空镀膜用可移动的镀膜置具，包括驱动机构，所述驱动机构的顶端设置有置物机构，所述驱动机构的外壁固定连接有静音环罩，所述置物机构的内壁滑动连接有转杆，所述驱动机构包括电机，所述电机的外壁固定连接有隔音板，所述隔音板的顶面固定连接有底板，所述底板的顶面固定连接有旋转机构。该转轴涉及真空镀膜机领域，本实用新型通过设置旋转机构，在啮合作用下，太阳齿带动多个行星齿在固定的齿轮圈和太阳齿之间绕太阳齿公转的同时自转，从而通过锁台带动用来放置工件的转杆公转并自转，解决了工件放置机构只能以底盘中心为圆心公转产生的镀膜不均匀的问题，从而提高了工件的镀膜质量。
主权项：1.一种PVD真空镀膜用可移动的镀膜置具，包括驱动机构（1），其特征在于：所述驱动机构（1）的顶端设置有置物机构（2），所述驱动机构（1）的外壁固定连接有静音环罩（3），所述置物机构（2）的内壁滑动连接有转杆（4），所述驱动机构（1）包括电机（11），所述电机（11）的外壁固定连接有隔音板（12），所述隔音板（12）的顶面固定连接有底板（13），所述底板（13）的顶面固定连接有旋转机构（14）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微镀新能源科技有限公司 一种PVD真空镀膜用可移动的镀膜置具
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