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申请/专利权人：眉山博雅新材料股份有限公司
摘要：本说明书实施例提供一种镀膜蒸发冶具，冶具包括由上至下依次设置的盖板和坩埚，盖板位于坩埚的开口处，坩埚连接有正电极和负电极；正电极和负电极为坩埚内部的镀膜材料供电；盖板包括设有通孔的开孔区域和未设有通孔的非开孔区域；开孔区域位于盖板的中央；非开孔区域位于开孔区域的边缘与盖板的边缘之间；开孔区域和非开孔区域沿盖板长度方向的尺寸的比值在0.4～0.6的范围内。
主权项：1.一种镀膜蒸发冶具，其特征在于，所述冶具包括由上至下依次设置的盖板和坩埚，所述盖板位于所述坩埚的开口处，所述坩埚连接有正电极和负电极；所述正电极和所述负电极为所述坩埚内部的镀膜材料供电；所述盖板包括设有通孔的开孔区域和未设有通孔的非开孔区域；所述开孔区域位于所述盖板的中央；所述非开孔区域位于所述开孔区域的边缘与所述盖板的边缘之间；所述开孔区域和所述非开孔区域沿所述盖板长度方向的尺寸的比值在0.4～0.6的范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 眉山博雅新材料股份有限公司 一种镀膜蒸发冶具
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