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一种反射镜压片及紫外固化机台 

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申请/专利权人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司

摘要:一种反射镜压片及紫外固化机台,涉及紫外固化技术领域。该反射镜压片包括压片本体和设置在压片本体上的第一限位结构、第二限位结构和连接结构,第一限位结构用于在第一方向上对反射镜进行限位,第二限位结构用于在第一方向上与反射镜安装腔配合以使压片本体位于预设安装位置,连接结构用于将压片本体固定在反射镜安装腔内。该反射镜压片通过在压片本体上同时设置第一限位结构和第二限位结构,不仅实现了对反射镜在第一方向上的限位,也实现了对自身在第一方向上的限位,从而在反射镜反复拆装的过程中提高了反射镜位置的一致性和固定效果,进而提高工艺的重复性。

主权项:1.一种反射镜压片,其特征在于,包括压片本体和设置在所述压片本体上的第一限位结构、第二限位结构和连接结构,所述第一限位结构用于在第一方向上对反射镜进行限位,所述第二限位结构用于在所述第一方向上与反射镜安装腔配合以使所述压片本体位于预设安装位置,所述连接结构用于将所述压片本体固定在所述反射镜安装腔内。

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