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申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司

摘要：本实用新型涉及一种Bar条切割装置，包括加工Z轴组件、三轴平台和支撑及下影像组件，三轴平台包括基板、XY轴双向运动平台和旋转吸附平台，在旋转吸附平台的上方设置有加工Z轴组件，旋转吸附平台内侧的基板上安装有支撑及下影像组件。本实用新型的切割装置利用三轴平台在圈边影像及定位影像辅助下，为粘贴在钢环上的Bar条阵列排布的布置形式的切割，提供了Bar条任意位置和任意角度的移动需求，不再受制于晶圆裂片设备加工该类产品时，因大尺寸切割刀片只能进行单条切割的局限，很好的解决了钢环内阵列排布的Bar条切割问题，以及当前市场存在的切割装置切割截面不平整及崩边问题。

主权项：1.一种Bar条切割装置，包括加工Z轴组件1、三轴平台2和支撑及下影像组件3，所述三轴平台2包括基板、XY轴双向运动平台和旋转吸附平台，安装在所述基板上的XY轴双向运动平台与上方的旋转吸附平台相连接，在所述旋转吸附平台的上方设置有加工Z轴组件1，所述加工Z轴组件1安装在基板上，所述旋转吸附平台内侧的基板上安装有支撑及下影像组件3；其特征在于：所述加工Z轴组件1包括加工立架、Z轴滑板31和加工Z轴伺服电机40，所述加工立架沿着X轴方向的两侧分别通过左立柱28和右立柱32安装在基板上，所述加工Z轴伺服电机40通过加工Z轴立板安装在加工立架上的中间位置，所述加工Z轴伺服电机40底部的驱动端通过加工Z轴丝杆模组与下方的Z轴滑板31相连接，在所述Z轴滑板31上安装有电动击锤30，在所述电动击锤30正下方的Z轴滑板31上安装有刀架29，所述刀架29上的中间位置安装有劈刀安装板27，在所述劈刀安装板27的底部中间位置安装有劈刀压块26，所述劈刀压块26的底部安装有劈刀33；所述支撑及下影像组件3包括第一支撑Y轴步进电机12、第一支撑Y轴滑块14、第二支撑Y轴滑块17、第二支撑Y轴步进电机19和下影像组件，所述第一支撑Y轴滑块14和第二支撑Y轴滑块17依次沿着Y轴的正方向安装在下方的XY轴双向运动平台上，第一支撑Y轴步进电机12的驱动端通过第一支撑Y轴传动丝杆13与所述第一支撑Y轴滑块14相连接，第二支撑Y轴步进电机19的驱动端通过第二支撑Y轴传动丝杆18与所述第二支撑Y轴滑块17相连接，在所述第一支撑Y轴滑块14的顶部安装有第一支撑Y轴承板15，在所述第二支撑Y轴滑块17的顶部安装有第二支撑Y轴承板16，且所述下影像组件位于第一支撑Y轴滑块14和第二支撑Y轴滑块17的下方。

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