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一种晶片转运装置 

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申请/专利权人:天津西美半导体材料有限公司

摘要:本实用新型提供了一种晶片转运装置,属于晶片生产转运设备技术领域。该晶片转运装置包括移动机构和存放机构。移动机构包括车架,车架底部安装有车轮,且车架顶部后侧安装有推把;存放机构包括顶部为敞口设置的存储箱,存储箱设置在车架内侧,且存储箱两侧均设置有条形槽,存储箱内部设置有活动的隔板多组,隔板端部固定设置有活动贯穿于条形槽的限位杆将相同的尺寸规格的晶片放置盒放置在隔板一侧的同一空腔中,相邻隔板之间放入同规格的晶片放置盒,根据放置盒的规格移动调节存储箱内部的隔板。即隔板外侧的第一弹性部给支撑板一侧的滚轮施加弹力,实现隔板之间可活动调节距离设置,提升转移时转移装置使用时的灵活性。

主权项:1.一种晶片转运装置,其特征在于,包括移动机构10,所述移动机构10包括车架110,所述车架110底部安装有车轮130,且所述车架110顶部后侧安装有推把120;存放机构20,所述存放机构20包括顶部为敞口设置的存储箱210,所述存储箱210设置在所述车架110内侧,且所述存储箱210两侧均设置有条形槽211,所述存储箱210内部设置有活动的隔板220多组,所述隔板220端部固定设置有活动贯穿于所述条形槽211的限位杆270,所述限位杆270远离所述隔板220一端设置有固定板240,所述存储箱210和所述固定板240之间设置有支撑板250,所述限位杆270活动贯穿于所述支撑板250,所述支撑板250和所述固定板240之间安装有第一弹性部260,所述支撑板250一侧安装有与所述存储箱210外壁相抵触的滚轮230。

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