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申请/专利权人：中国电子科技集团公司信息科学研究院;电子科技大学
摘要：本发明提供一种MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法，MEMS驱动电路包括DAC模块、多路复用单元、采样保持放大器阵列、高压驱动放大器阵列、基准电压源和SPI模块；DAC模块用于将给定的数字信号转化为模拟电压信号；多路复用单元与所述DAC模块连接；采样保持放大器阵列的输入端与DAC模块的输出端连接；高压驱动放大器阵列的输入端与所述采样保持放大器阵列的输出端连接；高压驱动放大器阵列的输出端与MEMS阵列一一连接；SPI模块与所述DAC模块连接，用于将片外控制信号传输到片内进行电压值与时序控制。本发明的一个技术效果在于，大大减少驱动电路与MEMS阵列的走线长度，能够实现对整个MEMS阵列的精确控制。
主权项：1.一种MEMS驱动电路，其特征在于，采用CMOS工艺对阵列MEMS驱动电路和MEMS阵列进行芯片级集成以形成MEMS-CMOS集成芯片，包括：DAC模块和多路复用单元，所述DAC模块用于将给定的数字信号转化为模拟电压信号；所述多路复用单元与所述DAC模块连接，用于将DAC模块输出的模拟电压信号拆分成多路子信号；采样保持放大器阵列，所述采样保持放大器阵列的输入端与所述DAC模块的输出端连接，用于对所述DAC模块输出的模拟电压信号进行保持；高压驱动放大器阵列，所述高压驱动放大器阵列的输入端与所述采样保持放大器阵列的输出端连接，用于将所述DAC模块输出的模拟电压信号放大至预设的驱动电压范围；所述高压驱动放大器阵列的输出端与MEMS阵列一一连接；基准电压源，所述基准电压源与所述DAC模块连接，用于为DAC模块提供基准电压；SPI模块，所述SPI模块与所述DAC模块连接，用于将片外控制信号传输到片内进行电压值与时序控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司信息科学研究院 电子科技大学 MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法
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