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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：提供了一种装置。装置包括具有进口的晶圆存储器件，气体通过该进口流入晶圆存储器件的晶圆存储室。气体的第一部分通过晶圆存储器件的出口离开晶圆存储器件的晶圆存储室。气体的第二部分通过晶圆存储器件的一个或多个间断离开晶圆存储器件的晶圆存储室，到达晶圆存储器件外部的空间。装置包括相对于晶圆存储器件布置为引导气体的第二部分的分量离开空间的排气器件。本申请的实施例还涉及排气装置和处理站。
主权项：1.一种排气装置，包括：净化系统，配置为将净化气体引导至晶圆存储器件的存储一个或多个半导体晶圆的晶圆存储室中，其中，所述净化系统相对于所述晶圆存储器件布置为使得在所述净化气体引导至所述晶圆存储器件的所述晶圆存储室中之后：所述净化气体的第一部分通过所述晶圆存储器件的出口离开所述晶圆存储器件的所述晶圆存储室；以及所述净化气体的第二部分通过所述晶圆存储器件的一个或多个间断离开所述晶圆存储器件的所述晶圆存储室到达所述晶圆存储器件外部的空间；以及排气器件，相对于所述晶圆存储器件布置为引导所述净化气体的所述第二部分的分量离开所述空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 排气装置和处理站
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