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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种高纯钇靶及其制备方法，属于材料加工技术领域；本发明提供的一种高纯钇靶的制备方法中，通过对高纯钇铸锭依次采用锻造、一次热处理、一次交叉轧制、二次热处理、二次交叉轧制、三次热处理以及矫平等工序，并且通过控制一次热处理、二次热处理和三次热处理的温度范围，能够得到内部组织均匀，晶粒尺寸细小的高纯钇靶；并且，本发明提供的高纯钇靶的制备方法工艺简单，流程简短，操作简单，可操作性、可重复性强。
主权项：1.一种高纯钇靶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1对高纯钇铸锭进行锻造，锻造后空冷；2将步骤1空冷结束后工件依次进行一次热处理和一次交叉轧制；其中，一次热处理的温度为450-550℃；3将步骤2一次交叉轧制后工件依次进行二次热处理和二次交叉轧制；其中，二次热处理的温度为450-550℃；4将步骤3二次交叉轧制后工件进行三次热处理；其中，三次热处理的温度为450-550℃，时间为100-120min；5将三次热处理后工件进行矫平、水切割，得高纯钇靶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种高纯钇靶及其制备方法
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