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申请/专利权人：西安电子科技大学;西安电子科技大学杭州研究院
摘要：本发明公开了一种基于电荷等离子体隧穿场效应晶体管的生物传感器及其制备方法，传感器包括沟道，沟道的水平两侧分别设置有源区和漏区，源区的垂直两侧设置有第一氧化物层，第一氧化物层和源区的外周上覆盖有源区电极；沟道的垂直两侧设置有第二氧化物层，漏区的垂直两侧设置有第三氧化物层；第三氧化物层和漏区的外周上覆盖有漏区电极；第二氧化物层上设置有第一栅电极，位于沟道上方的第一栅电极靠近源区电极上水平部分的一侧设置有第二栅电极，第一氧化物层和第二氧化物层之间分别形成有位于第二栅电极下方的第一生物探测腔和位于源区电极下水平部分上方的第二生物探测腔；本发明的生物传感器具有灵敏度高和开态电流高的特点，且工艺简单。
主权项：1.一种基于电荷等离子体隧穿场效应晶体管的生物传感器，其特征在于：包括沟道2，沟道2的水平两侧分别设置有源区1和漏区3，源区1的垂直两侧设置有第一氧化物层41，第一氧化物层41和源区1的外周上覆盖有C型结构的源区电极6；沟道2的垂直两侧设置有第二氧化物层42，漏区3的垂直两侧设置有第三氧化物层43；第三氧化物层43和漏区3的外周上覆盖有C型结构的漏区电极8；第二氧化物层42上设置有第一栅电极71，位于沟道2上方的第一栅电极71靠近源区电极6上水平部分的一侧设置有第二栅电极72，第一氧化物层41和第二氧化物层42之间分别形成有位于第二栅电极72下方的第一生物探测腔51和位于源区电极6下水平部分上方的第二生物探测腔52。
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百度查询： 西安电子科技大学 西安电子科技大学杭州研究院 一种基于电荷等离子体隧穿场效应晶体管的生物传感器及其制备方法
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