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申请/专利权人:复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司
摘要:本发明提供了一种氨气检测的柔性有机晶体管阵列及其制备方法,包括衬底、栅极、介电层、有机小分子半导体异质结、源极和漏极,栅极覆盖衬底的一面,介电层覆盖栅极背向衬底的一面;有机小分子半导体异质结包括上层材料和下层材料,下层材料覆盖介电层背向栅极的一面,上层材料覆盖下层材料背向介电层的一面,源极和漏极覆盖上层材料背向下层材料的一面的一部分。本发明利用叠层的有机小分子半导体异质结对氨气进行感知,该上层材料能够增强源极和漏极到下层材料的空穴载流子注入,从而提高有机异质结晶体管的性能。该下层材料能够促进表面有机小分子材料的生长,提高阵列器件对氨气检测的响应度和灵敏度。
主权项:1.一种氨气检测的柔性有机晶体管阵列,用于检测氨气,其特征在于,包括衬底、栅极、介电层、有机小分子半导体异质结、源极和漏极,所述栅极覆盖所述衬底的一面,所述介电层覆盖所述栅极背向所述衬底的一面;所述有机小分子半导体异质结包括上层材料和下层材料,所述下层材料覆盖所述介电层背向所述栅极的一面,所述上层材料覆盖所述下层材料背向所述介电层的一面,所述源极和所述漏极覆盖所述上层材料背向所述下层材料的一面的一部分。
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权利要求:
百度查询: 复旦大学 上海集成电路制造创新中心有限公司 一种氨气检测的柔性有机晶体管阵列及其制备方法
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