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申请/专利权人：北京理工大学
摘要：一种基于石墨烯的高导电二维材料薄膜悬浮质量块的加速度传感器及其制备方法，其传感机理包括电容式和跨导式，电容式加速度传感器结构包括作为电容的上极板的石墨烯二维材料薄膜层、沉积的TiAu电极层、BCB质量块以及作为电容的下极板的高导电的Si衬底层。跨导式加速度传感器结构包括石墨烯二维材料薄膜层、漏电极层、源电极层、BCB质量块以及作为门电极的高导电的Si衬底层。本发明具有更小的尺寸、更高的灵敏度、更高的精度、更好的可靠性、更好的抗高过载能力、更大的量程、更好的耐高温性能、更简单的制备工艺，器件性能十分优异，相较于一些传统的加速度传感器有显著提升。
主权项：1.一种基于石墨烯的高导电二维材料薄膜悬浮质量块的加速度传感器，其特征在于，由二维材料薄膜与硅MEMS基底进行集成，同时二维材料薄膜悬浮质量块，该器件是基于硅晶圆制备而成，硅晶圆背面硅基底层进行背刻蚀形成空腔，二维材料薄膜悬浮质量块，且二维材料薄膜自悬浮；质量块由苯并环丁烯（BCB）经旋涂、刻蚀工艺而形成，质量块也可以由聚甲基丙烯酸甲酯、聚二甲基硅氧烷、光刻胶、金属、氮化硅、有机聚合物中的一种材料构成；在加速度的作用下质量块导致二维材料薄膜发生形变；发生形变的二维材料薄膜能够将加速度信号转换至其他可检测信号；空腔使得当质量块受到加速度作用时，能够沿着垂直于二维材料薄膜平面的方向进行运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学 一种基于石墨烯的高导电二维材料薄膜悬浮质量块的加速度传感器及其制备方法
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