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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及晶棒制备领域，尤其涉及一种单晶炉取晶棒设备，该单晶炉取晶棒设备设有支撑底座、升降构件、转向组件、夹取构件及固定组件，固定组件包括两个构造相同的固定座；升降构件安装在支撑底座上，转向组件的两端分别与升降构件及夹取构件连接，两个固定座分别长度可调的安装在夹取构件的上下两端；如此，在夹取晶棒时，能够根据晶棒的长度调整各固定座与夹取构件间的距离，从而确保在固定座将晶棒的两端固定后，夹取构件能够正对该晶棒的二分之一处，以在对晶棒运输及转至水平的过程中保持晶棒的稳定，从而保证晶棒的质量及操作人员的安全。
主权项：1.一种单晶炉取晶棒设备，其特征在于，包括支撑底座、升降组件、转向组件、夹取构件及固定组件，所述固定组件包括两个构造相同的固定座，两个固定座与夹取构件之间的间距可调的安装在夹取构件的上下两端；所述升降组件安装在所述支撑底座上，所述转向组件的两端分别与所述升降组件及所述夹取构件连接；所述升降组件用于调整所述夹取构件的高度，所述转向组件用于使所述夹取构件在竖直平面内转动，所述夹取构件用于夹取晶棒的中部，两个固定座分别用于根据晶棒的长度调整固定座与夹取构件间的距离，并固定在晶棒的两端。
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权利要求：
百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 单晶炉取晶棒设备
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