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申请/专利权人：北京大学;天津新智感知科技有限公司
摘要：本发明公开了一种低功耗长寿命的MEMS气体传感器，包括硅基底、支撑层、加热电极、隔离层、检测电极和气敏膜。支撑层采用悬膜结构，降低功耗的同时提高气敏膜敏感区域的温度一致性，提高了器件的响应速度和灵敏度，同时支撑层采用几字形弹簧梁结构有利于释放工作过程中的热应力，减少气敏膜的脱落提高使用寿命，气敏膜采用溅射的方式加工，保证了产品的一致性，产品性能稳定易于加工。
主权项：1.一种低功耗长寿命的MEMS气体传感器，其特征在于，包括：基底、支撑层、加热电极层、隔离层、检测电极层和气敏膜；所述支撑层位于基底之上，包含支撑层中心悬膜和弹簧梁，所述支撑层中心悬膜由弹簧梁与四周相连，所述弹簧梁和支撑层中心悬膜处于悬空状态；所述弹簧梁为几字形结构；所述加热电极层位于支撑层上方；所述加热电极层上设有隔离层；所述隔离层上为检测电极层；所述加热电极层包含加热电极和加热电极引线；所述检测电极层包含检测电极和检测电极引线；所述气敏膜位于检测电极上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 天津新智感知科技有限公司 一种低功耗长寿命的MEMS气体传感器
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