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申请/专利权人：核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院
摘要：本发明所要解决的技术问题是提供一种半自动多任务离子束刻蚀材料夹具，该半自动多任务离子束刻蚀材料夹具可以实现一次夹持多个刻蚀样品，有效的减少了因频繁更换样品而浪费的时间，有效降低了未被刻蚀加工的样品被污染的风险，有效提高了实验效率和准确率。该夹具包括刻蚀筒体，刻蚀筒体的上端可拆卸的设置有顶板，刻蚀筒体的下端设置有底板，刻蚀筒体内通过转动结构设置有支撑座；支撑座上设置有多个用于放置样品的夹持座；顶板上设置有刻蚀孔，通过支撑座上设置的多个夹持座夹持多个样品，通过转动结构带动支撑座定期转动一定的角度进行顺序刻蚀加工；顶板上只设置有一个刻蚀孔，避免了未被刻蚀加工的样品被污染。
主权项：1.一种半自动多任务离子束刻蚀材料夹具，包括刻蚀筒体1，所述刻蚀筒体1的上端可拆卸的设置有顶板2，所述刻蚀筒体1的下端设置有底板3，其特征在于：所述刻蚀筒体1内通过转动结构设置有支撑座4；所述支撑座4上设置有多个用于放置样品的夹持座；所述顶板2上设置有刻蚀孔5，初始状态时，所述刻蚀孔5与其中的一个夹持座上下对应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 核工业西南物理研究院 成都理工大学工程技术学院 一种半自动多任务离子束刻蚀材料夹具
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