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一种具有矫正装置的晶圆分拣转塔结构及矫正方法 

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申请/专利权人:苏州茂特斯自动化设备有限公司

摘要:本发明涉及晶圆分拣领域,尤其涉及一种具有矫正装置的晶圆分拣转塔结构及矫正方法。包括基座,基座上设置有转塔,所述转塔围绕自身轴线设置有吸嘴组件,以及基座上对应吸嘴组件设置的矫正组件;所述吸嘴组件具有能够吸附产品的吸头;所述矫正组件包括具有动力的矫正轮,所述矫正轮的轴线与吸头轴线平行并与吸头抵接,带动吸头围绕吸头的轴线旋转,从而在不直接接触产品的前提下改变产品的空间姿态。本发明将用于吸附产品的吸头构造为可以相对转塔独立旋转的零件,使得矫正设备可以将矫正产品角度的作用力施加到吸头上,间接带动产品旋转改变角度。从而避免矫正设备与产品直接接触,导致如晶圆之类精密脆弱的产品受损。

主权项:1.一种具有矫正装置的晶圆分拣转塔结构,包括基座(1),所述基座(1)上设置有转塔(3),所述转塔(3)围绕自身轴线设置有角度检测相机、吸嘴组件(4),以及基座(1)上对应吸嘴组件(4)设置的矫正组件(5);其特征在于,所述吸嘴组件(4)具有能够吸附产品的吸头(41);所述矫正组件(5)包括具有动力的矫正轮(52),所述矫正轮(52)的轴线与吸头(41)轴线平行并与吸头(41)抵接,带动吸头(41)围绕吸头(41)的轴线旋转,从而在不直接接触产品的前提下改变产品的空间姿态。

全文数据:

权利要求:

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