龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广东汇成真空科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶，其包括靶头组件、靶管组件和尾座固定组件，靶头组件设有进水口、进水通道、进气口、连接气道、传动机构和转轴，传动机构连接在转轴上，尾座固定组件设有出水口和水接管，靶管组件的上端和下端分别与转轴和水接管连接，靶管组件内设有至少一段布气道，靶管组件的侧壁上分布有若干出气孔，进气口、连接气道、布气道及出气孔依次相连通，靶管组件内形成有回水道，进水口、进水通道、回水道、水接管及出水口依次相连通。本发明经靶管组件内部的布气道往细长管的上中下位置直接布气，同时靶管组件还通过转动使得布气更均匀，从而能够解决细长管内壁均匀镀膜的难题。
主权项：1.一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶，其特征在于：包括靶头组件、靶管组件和尾座固定组件，所述靶头组件设有进水口、至少一个进气口、传动机构和密封转动设置的转轴，所述转轴中设有进水通道和至少一条进气通道，所述传动机构连接在所述转轴上，用于与外部的动力源连接，所述尾座固定组件设有出水口和密封转动设置的水接管，所述靶管组件的上端和下端分别与所述转轴和所述水接管连接，使得所述靶管组件能够被转动，所述靶管组件内设有至少一段布气道，所述靶管组件的侧壁上分布有若干出气孔，所述进气口、进气通道、布气道及出气孔依次相连通，所述靶管组件内形成有回水通道，所述进水口、进水通道、回水通道、水接管及出水口依次相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东汇成真空科技股份有限公司 一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号