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镀膜治具使用次数检测装置及镀膜设备 

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申请/专利权人:蓝思科技(长沙)有限公司

摘要:本申请涉及镀膜装置领域,尤其是涉及一种镀膜治具使用次数检测装置及镀膜设备。镀膜治具使用次数检测装置包括基板;基板靠近镀膜治具设置,基板的一侧板面为观测面,观测面与镀膜治具对应的AR膜镀膜材料的沉积方向呈预设夹角;观测面设置有高折射率打底层,且高折射率打底层的折射率大于2.0。本申请提供的镀膜治具使用次数检测装置,减薄了在基板上形成的AR膜的膜层厚度以降低AR膜的增透作用;同时,基板上设置的高折射率打底层起到增强反射率的作用;两者一起增加了基板上AR膜的反射率,使得看到的薄膜颜色更深,因而使得不同次镀膜后的基板上颜色差异相比镀膜治具上产品的颜色差异明显,易于区别膜层的堆叠层数。

主权项:1.一种镀膜治具使用次数检测装置,其特征在于,包括基板;所述基板靠近镀膜治具设置,所述基板的一侧板面为观测面,所述观测面与镀膜治具对应的AR膜镀膜材料的沉积方向呈预设夹角;所述观测面设置有高折射率打底层,且所述高折射率打底层的折射率大于2.0。

全文数据:

权利要求:

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