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申请/专利权人：中机半导体材料(深圳)有限公司
摘要：本发明提供了一种用于碳化硅衬底DMP的团聚钻石研磨液的制备方法，其中制备方法包括以下步骤：S1、原料处理，包括：原料分选、原料酸洗、原料漂洗、原料烘干；S2、雾化干燥；S3、烧结成型；S4、精密分选；S5、干燥；S6、研磨液制备,包括：粉体改性、将改性后的原料配比称重、将称重后的原料搅拌混合、罐装，得到团聚钻石研磨液。本发明通过采用团聚金刚石以及其他软磨材料制成复合磨料，采用超声水煮法对原料进行改性，通过添加PVP作为分散剂等，进一步地提高研磨的效率和研磨后的产品质量。
主权项：1.一种用于碳化硅衬底DMP的团聚钻石研磨液的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：S1、原料处理，包括：原料分选、原料酸洗、原料漂洗、原料烘干；S2、雾化干燥；S3、烧结成型；S4、精密分选；S5、干燥；S6、研磨液制备,包括：粉体改性、将改性后的原料配比称重、将称重后的原料搅拌混合、罐装，得到团聚钻石研磨液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中机半导体材料(深圳)有限公司 一种用于碳化硅衬底DMP的团聚钻石研磨液的制备方法
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