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申请/专利权人：株式会社尼康
摘要：本发明提供一种加工装置以及系统，测量光对工件的照射被因加工光对工件的照射而产生的物质妨碍的可能性变低。加工装置是通过将来自加工光源的加工光照射至物体来加工物体的加工装置，包括：合成光学系统，将来自加工光源的加工光的光路与来自测量光源的第一测量光的光路合成；照射光学系统，将经由合成光学系统的加工光及第一测量光照射至物体；位置变更装置，变更照射光学系统相对于物体的位置；拍摄装置，其位置与照射光学系统一起变更，拍摄物体；以及检测装置，经由照射光学系统及合成光学系统，来检测第二测量光，所述第二测量光通过经由照射光学系统照射至物体的第一测量光而自物体产生。
主权项：1.一种加工装置，其是通过将来自加工光源的加工光照射至物体来加工所述物体的加工装置，其特征在于，包括：合成光学系统，将来自所述加工光源的所述加工光的光路与测量光的光路合成；照射光学系统，将经由所述合成光学系统的所述加工光及所述测量光照射至所述物体；以及照射位置变更光学系统，配置在所述合成光学系统与所述照射光学系统之间，变更所述加工光在所述物体上的照射位置及所述测量光在所述物体上的照射位置。
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