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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社
摘要：气体激光装置可以具备：腔室，其包含长度方向沿着规定方向配置且相互隔开间隔地对置的一对放电电极，并封入有激光气体；多个电容器，它们沿着规定方向排列，一方的端子与一个放电电极电连接，另一方的端子与另一个放电电极电连接；以及第一磁开关和第二磁开关，它们与一个放电电极和多个电容器的一方的端子电连接，并且第一磁开关和第二磁开关相互并联电连接，第二磁开关配置于在规定方向上比第一磁开关靠放电电极的中央侧的位置，第一磁开关的伏秒积小于第二磁开关的伏秒积。
主权项：1.一种气体激光装置，其具备：腔室，其包括长度方向沿着规定方向配置且相互隔开间隔地对置的一对放电电极，并封入有激光气体；多个电容器，它们沿着所述规定方向排列，一方的端子与一个所述放电电极电连接，另一方的端子与另一个所述放电电极电连接；以及第一磁开关和第二磁开关，它们与所述一个放电电极和所述多个电容器的所述一方的端子电连接，并且第一磁开关和第二磁开关相互并联电连接，所述第二磁开关配置于在所述规定方向上比所述第一磁开关靠所述放电电极的中央侧的位置，所述第一磁开关的伏秒积小于所述第二磁开关的伏秒积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 极光先进雷射株式会社 气体激光装置以及电子器件的制造方法
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