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申请/专利权人：长春理工大学
摘要：本申请属于多光束激光干涉微纳加工技术领域，特别是涉及一种相位差锁定的四光束激光干涉微纳加工装置和方法。针对现有的多光束激光干涉系统存在着分光器件多、调整光路复杂，光强不一致、系统可靠性低等问题。本申请提供了一种以相位差锁定的四路输出激光器为光源的四光束激光干涉微纳加工装置，包括依次排列的脉冲激励氙灯、Nd:YAG晶体、输出镜、14波片、调Q模块、达曼透射光栅腔镜和反射镜。所述激光器无需经过分光系统，可直接获得单纵膜、相位差锁定、光强相等、偏振态一致的四束光用以直接进行反射相交干涉，其装置操作简单，干涉角度易调整，成本低，可用于大面积、高效率、高分辨率的周期性微纳结构的加工。
主权项：1.一种四光束激光干涉微纳加工装置，其特征在于：包括第一激光干涉微纳加工单元、第二激光干涉微纳加工单元、第三激光干涉微纳加工单元和第四激光干涉微纳加工单元，所述第一激光干涉微纳加工单元、半反半透镜与所述第三激光干涉微纳加工单元沿同一直线依次排列，所述第二激光干涉微纳加工单元、所述半反半透镜与所述第四激光干涉微纳加工单元沿同一直线依次排列，所述第一激光干涉微纳加工单元与所述第二激光干涉微纳加工单元关于所述半反半透镜的光轴对称，所述第三激光干涉微纳加工单元与所述第四激光干涉微纳加工单元关于所述半反半透镜的光轴对称，所述第一激光干涉微纳加工单元、所述第二激光干涉微纳加工单元、所述第三激光干涉微纳加工单元与所述第四激光干涉微纳加工单元结构相同；所述第一激光干涉微纳加工单元包括依次排列的第一反射镜、第一达曼透射光栅腔镜、第一激光发出组件、第一14波片和第一调Q模块；所述第二激光干涉微纳加工单元包括依次排列的第二反射镜、第二达曼透射光栅腔镜、第二激光发出组件、第二14波片和第二调Q模块，所述第三激光干涉微纳加工单元包括依次排列的第三反射镜、第三达曼透射光栅腔镜、第三激光发出组件、第三14波片和第三调Q模块，所述第四激光干涉微纳加工单元包括依次排列的第四反射镜、第四达曼透射光栅腔镜、第四激光发出组件、第四14波片和第四调Q模块；相对的两路激光产生单元光轴在同一直线上；所述半反半透镜的中心与两条光轴的交点重合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长春理工大学 一种四光束激光干涉微纳加工装置
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