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申请/专利权人：北京通美晶体技术股份有限公司
摘要：本申请涉及半导体技术领域，具体公开了一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，包括石英管和与石英管螺纹连接的石英帽，所述石英帽内壁设有内螺纹且与石英管螺纹连接；所述石英帽靠近石英管一侧沿其周面开设有容纳槽，容纳槽处于石英帽顶部与内螺纹之间，所述容纳槽内填充有膨胀石墨‑玄武岩纤维复合布，所述膨胀石墨‑玄武岩纤维复合布由玄武岩纤维布在分散有膨胀石墨的溶剂中浸渍后烘干得到。本申请具有实现石英管和石英帽之间的密封操作更为方便，而且密封效果优异的特点。
主权项：1.一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构，其特征在于，包括石英管1和与石英管1螺纹连接的石英帽2，所述石英帽2内壁设有内螺纹且与石英管1螺纹连接；所述石英帽2靠近石英管1一侧沿其周面开设有容纳槽21，容纳槽21处于石英帽2顶部与内螺纹之间，所述容纳槽21内填充有膨胀石墨-玄武岩纤维复合布3，所述膨胀石墨-玄武岩纤维复合布3由玄武岩纤维布在分散有膨胀石墨的溶剂中浸渍后烘干得到；分散有膨胀石墨的溶剂中还添加有聚乙烯醇，聚乙烯醇与溶剂的质量比为1：（5-6）；所述容纳槽21内还设置有金属包覆垫片4，金属包覆垫片4一侧与所述石英管1抵接，另一侧与所述膨胀石墨-玄武岩纤维复合布3贴合；所述金属包覆垫片4外层靠近石英管1一侧还依次喷涂形成有MCrAlY粘结层5和陶瓷面层6以及无机高温涂层7，所述无机高温涂层7由无机高温涂料喷涂得到，所述无机高温涂料由包括以下重量份的原料制得：8-15份石英粉、30-50份耐热树脂、10-20份纳米α-氧化铝、6-10份纳米二氧化锆和15-25份勃姆石溶胶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京通美晶体技术股份有限公司 一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构
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