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申请/专利权人：哈尔滨工程大学
摘要：本发明公开了一种基于金属阵列微腔的钙钛矿纳米激光器的制备方法，属于激光与纳米技术领域。首先制备金属阵列微腔，将制备好的金属阵列微腔作为谐振腔。接着制备准二维钙钛矿薄膜，将制备好的准二维钙钛矿薄膜涂覆于制备好的金属阵列微腔之上。之后制备顶层金属电极，将制备好的顶层金属电极涂覆于制备好的准二维钙钛矿薄膜之上进行封装加固。本发明以简单经济的方法实现了全波段、高功率、窄带宽、强相干的纳米激光器。本发明工艺简单、成本低廉、批次性好且能够实现按需定制，对实现片上集成与光计算等新兴光学领域的发展并推动实现其应用具有重要意义。
主权项：1.一种基于金属阵列微腔的钙钛矿纳米激光器的制备方法，其特征在于：所述一种基于金属阵列微腔的钙钛矿纳米激光器的制备方法是通过以下步骤实现的：S1：制备金属阵列微腔，将制备好的金属阵列微腔作为谐振腔，所述金属阵列微腔的材质为金、银、铝、铜、锡中的一种，所述制备金属阵列微腔的步骤包括：S1.1：将金属薄片裁剪成圆形基底，对金属基底经过液压机压平后，先后使用无水乙醇与超纯水进行超声清洗，重复清洗直至表面无油膜无杂质，S1.2：将S1.1得到的洗净后的金属基底取出吹干，在配制好的酸性抛光液中进行冰水浴抛光，S1.3：对S1.2得到的抛光好的金属基底使用无水乙醇冲洗表面残留的酸性溶液，吹干后借助具有初始结构的高硬度金属膜于液压机中进行转移压印，将初始结构转印至金属基底上，S1.4：将S1.3中压印好的金属基底置于氧化液中进行氧化，获得金属阵列微腔及其氧化物基底，所述氧化液为碳酸、柠檬酸、氢氟酸、草酸、亚硫酸、磷酸中的一种，所述氧化的电压为2~15V片，电流为0.2~53A片，时间为0~16h，S1.5：将S1.4氧化好的金属基底取出，使用无水乙醇洗净，浸泡于弱酸中去除残留氧化层，获得金属阵列微腔；S2：制备准二维钙钛矿薄膜，将制备好的准二维钙钛矿薄膜涂覆于S1中制备好的金属阵列微腔之上；S3：制备顶层金属电极，将制备好的顶层金属电极悬浊液涂覆于S2中制备好的准二维钙钛矿薄膜之上进行封装加固。
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百度查询： 哈尔滨工程大学 一种基于金属阵列微腔的钙钛矿纳米激光器的制备方法
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