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掩膜板组件及蒸镀装置 

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申请/专利权人:惠科股份有限公司

摘要:本申请提供一种掩膜板组件及蒸镀装置,该掩膜板组件包括掩膜板和电极对;其中,掩膜板具有多个开口;电极对包括两个电极;两个所述电极间隔设置于所述掩膜板上,用于向所述掩膜板施加补偿电压;其中,所述掩膜板包括压电材料。该掩膜板组件可以补偿掩膜板因受热或自身重力影响下产生的形变;从而避免因掩膜板变形而导致有机材料沉积不规则的情况发生,制备的显示面板的稳定性或一致性。

主权项:1.一种掩膜板组件,用于在OLED显示面板的阵列基板的待蒸镀区域上蒸镀有机物质并形成像素,其特征在于,包括:主掩膜框;所述主掩膜框上设置有多个子掩膜框;多个掩膜板,分别设置于多个所述子掩膜框上;每一所述掩膜板具有多个开口;多个电极对,间隔设置于所述掩膜板的不同区域;每一所述电极对包括两个电极;两个所述电极间隔设置于所述掩膜板上,用于向所述掩膜板施加补偿电压;第一传感器,设置于所述掩膜板上,用于检测所述掩膜板的形变方向和大小或检测所述掩膜板的温度;其中,所述掩膜板包括压电材料;所述电极对具有与所述多个开口对应的开孔;仅一个所述掩膜板上设置有所述第一传感器,且设置有所述第一传感器的所述掩膜板与所述阵列基板的所述待蒸镀区域错位。

全文数据:

权利要求:

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