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申请/专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
摘要：本实用新型公开了一种分子泵拆装工具，涉及分子泵拆装装置技术领域，包括：拆卸装置、升降装置和移动装置；拆卸装置包括活动杆和驱动装置，活动杆的第一端设置有水平托盘，水平托盘用于支撑分子泵，活动杆的第二端通过传动组件与驱动装置连接，以使驱动装置驱动活动杆伸入或伸出设备腔室的下方；升降装置与拆卸装置连接，用于抬升拆卸装置至预设位置处；移动装置设置于升降装置的底部，用于将拆卸装置移动至工作位，以使当活动杆伸入至设备腔室的下方时，水平托盘与设备腔室内的分子泵贴紧。本实用新型提供的分子泵拆装工具，保证了分子泵底部的受力均匀，且为操作人员留出了足够的操作空间，提高了作业人员拆卸分子泵的便捷性。
主权项：1.一种分子泵拆装工具，其特征在于，包括：拆卸装置100，包括活动杆101和驱动装置，所述活动杆101的第一端设置有水平托盘102，所述水平托盘102用于支撑分子泵400，所述活动杆101的第二端通过传动组件103与所述驱动装置连接，以使所述驱动装置驱动所述活动杆101伸入或伸出设备腔室的下方；升降装置200，与所述拆卸装置100连接，用于抬升所述拆卸装置100至预设位置处；移动装置300，设置于所述升降装置200的底部，用于将所述拆卸装置100移动至工作位，以使当所述活动杆101伸入至所述设备腔室的下方时，所述水平托盘102与所述设备腔室内的所述分子泵400贴紧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 一种分子泵拆装工具
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