龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明提供的一种管道结垢酸洗处理系统及方法，应用于半导体加工废水处理系统，半导体加工废水处理系统包括相互连通的含氟调节池和含氟应急池、含氟一级中间池和含氟二级中间池以及研磨调节池和研磨应急池，在含氟调节池的后端通过增设的第一管道与含氟一级中间池的后端连接，含氟调节池排出的含氟酸液对含氟一级中间池和含氟二级中间池之间的第二管道中的结垢进行酸洗；以及，在含氟调节池的后端通过增设的第三管道与研磨调节池的后端连接，含氟调节池排出的含氟酸液对研磨调节池与研磨应急池之间的第四管道中的结垢进行酸洗。本发明对含氟酸液废水再次利用，去除结垢，防止结垢堵塞管道，提高了管道的使用寿命，从而降低了废水处理成本。
主权项：1.一种管道结垢酸洗处理系统，其特征在于，应用于半导体加工废水处理系统，所述半导体加工废水处理系统包括相互连通的含氟调节池和含氟应急池、含氟一级中间池和含氟二级中间池以及研磨调节池和研磨应急池，所述管道结垢酸洗处理系统包括：所述含氟调节池的后端通过增设的第一管道与所述含氟一级中间池的后端连接，所述含氟调节池排出的含氟酸液对所述含氟一级中间池和所述含氟二级中间池之间的第二管道中的结垢进行酸洗；所述含氟调节池的后端通过增设的第三管道与所述研磨调节池的后端连接，所述含氟调节池排出的含氟酸液对所述研磨调节池与所述研磨应急池之间的第四管道中的结垢进行酸洗。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 一种管道结垢酸洗处理系统及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号