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申请/专利权人:上海交通大学
摘要:本发明提供一种基于量子电轰屏的离析一体化MEMS离子阱,包括:离子源,所述离子源对待测气相样品进行离子化处理,形成离子;离子阱,所述离子阱对所述离子进行分离筛选,形成待测离子;量子电轰屏,所述待测离子撞击所述量子电轰屏,在所述量子电轰屏上形成电压并发出量子点;增强电荷耦合器件,所述增强电荷耦合器件获取量子点的图像信息;处理模块,所述处理模块根据所述图像信息和所述电压,得到待测气相样品的成分信息。本发明的离析一体化MEMS离子阱具有微型化、便携式、响应时间短、灵敏度高等优点,适用于大气环境、航天等领域的检测。
主权项:1.一种基于量子电轰屏的离析一体化MEMS离子阱,其特征在于,包括:离子源,所述离子源对待测气相样品进行离子化处理,形成离子;离子阱,所述离子阱对所述离子进行分离筛选,形成待测离子;量子电轰屏,所述待测离子撞击所述量子电轰屏,在所述量子电轰屏上形成电压并发出量子点;增强电荷耦合器件,所述增强电荷耦合器件获取量子点的图像信息;处理模块,所述处理模块根据所述图像信息和所述电压,得到待测气相样品的成分信息。
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权利要求:
百度查询: 上海交通大学 基于量子电轰屏的离析一体化MEMS离子阱
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