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申请/专利权人：苏州亿波达微系统技术有限公司
摘要：本发明涉及一种同向驱动的单轴MEMS陀螺仪，包括衬底机构，衬底机构上连接有驱动机构和检测机构；驱动机构包括驱动部件和驱动模块；检测机构包括质量块和检测模块，与驱动部件相邻的质量块具有朝向驱动部件的驱动端，驱动端对应设有换向部件，相邻两个检测机构之间设有间隙，沿Y轴方向的第奇数个所述间隙中设有第一解耦弹簧，第一解耦弹簧连接与其相邻的两个换向部件和驱动部件，对应的质量块与换向部件之间通过第二解耦弹簧连接；不同驱动部件之间相互耦合，不同质量块之间相互耦合。本发明具有强耦合和抗过载的优点。
主权项：1.一种同向驱动的单轴MEMS陀螺仪，其特征在于，包括衬底机构，所述衬底机构上连接有一个或沿X轴方向布置的两个驱动机构和沿Y轴方向布置的偶数个检测机构，所述偶数个检测机构设于一个所述驱动机构的X轴方向一端或设于两个所述驱动机构之间；所述驱动机构包括驱动部件和驱动模块，所述驱动部件通过第一弹簧梁连接第一锚点，所述驱动部件具有沿X轴方向往复运动的自由度，所述驱动模块包括驱动电极，所述驱动电极驱动所述驱动部件沿X轴方向往复运动；所述检测机构包括一个或沿X轴方向依次布置的多个质量块和一个或沿X轴方向依次布置的多个检测模块，所述质量块通过第二弹簧梁连接第二锚点，所述质量块具有绕Z轴方向面内摆动和绕X轴方向面外摆动的自由度，所述检测模块与所述质量块一一对应，所述检测模块包括科氏力检测电极，所述科氏力检测电极检测对应的所述质量块的面外摆动位移；其中，与所述驱动部件相邻的所述质量块具有朝向所述驱动部件的驱动端，所述驱动端对应设有换向部件，所述换向部件通过第三弹簧梁连接第三锚点，所述换向部件具有绕Z轴方向面内摆动的自由度；相邻两个所述检测机构之间设有间隙，沿Y轴方向的第奇数个所述间隙中设有第一解耦弹簧，所述第一解耦弹簧连接与其相邻的两个所述换向部件和所述驱动部件，对应的所述质量块与所述换向部件之间通过第二解耦弹簧连接；不同所述驱动部件之间相互耦合，不同所述质量块之间相互耦合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州亿波达微系统技术有限公司 同向驱动的单轴MEMS陀螺仪
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