龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：信息处理装置5具备信息取得部500和状态预测部501，改信息取得部取得包含具备基板保持部241的基板处理装置2动作时的动作状态的动作状态信息，该状态预测部通过向学习模型输入动作状态信息，来预测对应于动作状态信息的基板保持机构部状态信息，该学习模型通过机器学习而学习了动作状态信息与基板保持机构部状态信息的相关关系，该基板保持机构部状态信息表示基板处理装置2以动作状态信息所示的动作状态而动作时的基板保持机构部241a、241c、241e的状态。
主权项：1.一种信息处理装置，其特征在于，具备信息取得部和状态预测部，该信息取得部取得动作状态信息作为具备基板保持部的基板处理装置动作时的动作状态，该基板保持部具有保持基板的基板保持机构部和使基板旋转的基板旋转机构部，该动作状态信息包含：表示所述基板的旋转状态的基板旋转状态信息、表示所述基板保持部的基板保持位置的基板保持位置信息、及表示所述基板保持部的基板按压负荷的基板按压负荷信息，该状态预测部通过向学习模型输入通过所述信息取得部取得的所述动作状态信息，来预测对应于该动作状态信息的基板保持机构部状态信息，该学习模型通过机器学习而学习了所述动作状态信息与所述基板保持机构部状态信息的相关关系，该基板保持机构部状态信息表示所述基板处理装置以该动作状态信息所示的所述动作状态而动作时的所述基板保持机构部的状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 信息处理装置、推论装置、机器学习装置、信息处理方法、推论方法及机器学习方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号