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一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器 

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申请/专利权人:杭州电子科技大学

摘要:本发明涉及压电驱动器领域,具体涉及一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器,包括X‑Y轴滑台、X轴线性滑台以及安装在X轴线性滑台上的压电驱动器,所述的压电驱动器与X‑Y轴滑台接触,为中心对称的星型结构,由三个驱动单元组成,三个驱动单元各自拥有一个对称面,三个对称面互相成120°;每个驱动单元均由一个压电堆和变形量放大机构组成,所述的压电堆连接驱动电源模块,首末两端与变形量放大机构接触,所述的变形量放大机构包括多个柔性铰链和多个连杆,相邻两连杆之间通过柔性铰链相连。本发明的驱动单元的三项式分布方法,可以让三个单元实现“行走”式配合,从而赋予步进压电驱动器平面运动的能力,同时精简结构。

主权项:1.一种具有平面运动能力的尺蠖式压电驱动器,其特征在于:包括X-Y轴滑台9、X轴线性滑台11以及安装在X轴线性滑台11上的压电驱动器12,所述的压电驱动器12为中心对称的星型结构,由三个驱动单元13组成,三个驱动单元13的对称面互相成120°;每个驱动单元13均由一个压电堆7和变形量放大机构8组成,所述的压电堆7连接驱动电源模块,首末两端与变形量放大机构8接触,所述的变形量放大机构8包括多个柔性铰链5和多个连杆,相邻两连杆之间通过柔性铰链5相连。

全文数据:

权利要求:

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