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申请/专利权人：上海赛丽微电子有限公司

摘要：本发明提供了一种基于光子集成芯片的时域相干断层扫描系统及方法，通过设置光源、光芯片、干涉仪、光电探测模块、样本采集模块和数据处理模块，所述光源通过光芯片与所述干涉仪相连接，所述光芯片的参考路和样本路中分别设置有连续可调的光延时线，所述光芯片将所述探测光分成参考路信号光和样本路信号光，并利用连续可调的光延时线传输至所述干涉仪。相对于传统机械式TD‑OCT系统扫描速率慢的问题，利用连续可调的光延时线替代传统技术中参考路的机械位移，不仅提高了扫描速率，而且体积小。

主权项：1.一种基于光子集成芯片的时域相干断层扫描系统，其特征在于，包括光源、光芯片、干涉仪、光电探测模块、样本采集模块和数据处理模块，所述光源通过光芯片与所述干涉仪相连接，所述光芯片的参考路和样本路中分别设置有连续可调的光延时线；所述光源，用于发射探测光；所述光芯片，用于将所述探测光分成参考路信号光和样本路信号光，并利用连续可调的光延时线传输至所述干涉仪；所述干涉仪，用于透过参考路信号光以产生参考信号，并传输至光电探测模块；以及用于将所述样本路信号光发射至待扫描样本，以使得所述待扫描样本产生的反射信号，并传输至光电探测模块；所述光电探测模块，用于接收所述参考信号和反射信号，并在干涉后产生电信号；所述样本采集模块，用于接收所述电信号，并传输至所述数据处理模块；所述数据处理模块，用于对所述电信号进行处理，得到所述待扫描样本的成像图；所述光芯片包括由第一角耦合器形成的光输入端口、分光器、参考路、样本路、参考路和样本路中对称设置有连续可调的第一光延时线和连续可调的第二光延时线、由第二角耦合器形成的第一输出端口以及由第三角耦合器形成的第二输出端口；所述探测光经过所述第一角耦合器输入后，经过所述分光器分成参考路信号光和样本路信号光，且所述参考路信号光由第一输出端口输出，所述样本路信号光由第二输出端口输出；所述光芯片包括硅衬底、埋氧层、氮化硅波导层以及金属电极；所述光延时线为螺旋线型结构；和或所述光芯片的参考路中还设有N+1级级联的光开关和N级级联的固定延时量的光延时线构成的链路，每一级光延时线的光延时量固定且不同；其中，N为正整数；所述参考路信号光经过所述连续可调的第一光延时线后再经过所述链路，并由所述第一输出端口输出；所述样本路信号光经过所述连续可调的第二光延时线后直接由第二输出端口输出；当切换参考路的开关选定与理想延时量最匹配的延时后，再通过连续可调的第一光延时线和连续可调的第二光延时线，将延时量锁定为目标值。

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