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一种半导体PI胶膜粘性测试装置及方法 

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申请/专利权人:西安泽杰隆新材料有限责任公司

摘要:本发明公开了一种半导体PI胶膜粘性测试装置及方法,属于PI胶膜粘性测试技术领域。该装置,包括支撑架,支撑架上活动安装有测试板,测试板靠近上方的位置设置有滚珠筒组件,支撑架一侧设置有调节机构支撑架上设置有固定机构,固定机构用于将PI胶膜固定在测试板上;固定机构包括固定轨,固定轨上设置有液压杆,固定轨一侧设置有移动板,液压杆的输出轴与移动板连接,固定轨另一侧设置有限位板,移动板与固定轨滑动配合;本发明通过固定机构的设置能够将PI胶膜固定在测试板上,可以防止钢珠下滑时带动PI胶膜移动,从而提高测试的准确率,相比于胶带固定不会残留黏胶在测试板上,也不会影响测试板的平整度,有利于测试结果的准确性。

主权项:1.一种半导体PI胶膜粘性测试装置,包括支撑架(1),所述支撑架(1)上活动安装有测试板(2),其特征在于:所述测试板(2)靠近上方的位置设置有滚珠筒组件(4),所述支撑架(1)一侧设置有调节机构(3),所述调节机构(3)与支撑架(1)连接,所述支撑架(1)上设置有固定机构(5),所述固定机构(5)用于将PI胶膜固定在测试板(2)上;所述固定机构(5)包括固定轨(501),所述固定轨(501)上设置有液压杆(515),所述固定轨(501)一侧设置有移动板(502),所述液压杆(515)的输出轴与移动板(502)连接,所述固定轨(501)另一侧设置有限位板(503),所述移动板(502)与固定轨(501)滑动配合;所述移动板(502)内侧设置有连杆(504),所述连杆(504)下端与移动板(502)转动连接;所述限位板(503)上开设有限位槽(505),所述限位槽(505)内设置有滑杆(506),所述滑杆(506)与连杆(504)上端转动连接;所述移动板(502)下端贯穿设置有转轴(507),所述转轴(507)端部与连杆(504)连接,所述转轴(507)上套设有限位件(508);所述限位件(508)设置为两组,所述限位件(508)包括挤压板(509)和调节筒(511),所述挤压板(509)和调节筒(511)均套设于转轴(507)上,所述挤压板(509)与转轴(507)间隙配合;所述转轴(507)外壁沿长度方向开设有凹槽(510),所述凹槽(510)内设置有滑块,所述滑块与挤压板(509)连接,所述转轴(507)外壁开设有外螺纹,所述调节筒(511)内壁设置有内螺纹,所述内螺纹与外螺纹匹配;所述挤压板(509)端部设置有槽板(512),所述槽板(512)内侧设置有压块(513),所述槽板(512)与压块(513)滑动配合,所述槽板(512)内设置有弹簧A(514),所述弹簧A(514)端部与压块(513)连接;所述移动板(502)包括水平部和竖直部,所述水平部一端与竖直部上端连接,所述水平部与固定轨(501)滑动配合,所述竖直部的下端与连杆(504)下端转动连接;所述限位槽(505)由竖直段、弧形段和水平段组成,所述弧形段为四分之一圆弧结构,所述水平段远离测试板(2)的一端与弧形段连通,所述竖直段下端与弧形段上端连通。

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权利要求:

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