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申请/专利权人：无锡神山科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种无尘芯片托盘组件，包括托盘主体和清洁组件，所述托盘主体用于承装芯片，所述清洁组件安装在托盘主体上用于对托盘内部芯片进行清洁，所述托盘主体内部中空并设置有内部纵横加交错设置的加强挡板，托盘主体底部采用网状结构。通过设置清洁组件，清洁组件中的清洁风机和吸尘风机，在工作时能够在清洁室中型成风循环，对芯片循环清洁，同时设置温湿度调节器能够对清洁室内部温湿度进行实施监控和调节，保证需要的温湿度环境。
主权项：1.一种无尘芯片托盘组件，其特征在于，包括托盘主体1、清洁组件和温湿度调节控制器2，所述托盘主体1用于承装芯片，所述清洁组件安装在托盘主体1上用于对托盘内部芯片进行清洁，所述温湿度调节控制器2用于调节芯片所处环境温度，所述托盘主体1内部中空并设置有内部纵横加交错设置的加强挡板3，托盘主体1底部采用网状结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡神山科技有限公司 一种无尘芯片托盘组件
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