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一种多晶硅生产用干燥系统 

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申请/专利权人:江苏宇通干燥工程有限公司

摘要:本实用新型涉及一种多晶硅生产用干燥系统,包括振动流化床,所述振动流化床包括床体,所述床体的底部设有双质体振动机构,所述床体的顶部和底部分别设有出风口和进风口,所述出风口通过管路依次与布袋除尘器、引风机、冷凝器、和气液分离器的进气口连接,所述引风机、冷凝器、和气液分离器的排液口分别通过管路与溶剂储存罐连接,所述进风口通过管路依次与过滤器、加热器、和气液分离器的出气口连接,所述气液分离器与加热器之间的管路上设有氮气置换装置;本新型的干燥系统能对多晶硅物料进行高效的干燥和分级,能回收物料中蒸发的溶剂,具有节能环保的特点。

主权项:1.一种多晶硅生产用干燥系统,其特征在于:包括振动流化床(1),所述振动流化床(1)包括床体(2),所述床体(2)的底部设有双质体振动机构(3),所述床体(2)的顶部和底部分别设有出风口(4)和进风口(5),所述出风口(4)通过管路依次与布袋除尘器(6)、引风机(7)、冷凝器(8)、和气液分离器(9)的进气口连接,所述引风机(7)、冷凝器(8)、和气液分离器(9)的排液口分别通过管路与溶剂储存罐(10)连接,所述进风口(5)通过管路依次与过滤器(11)、加热器(12)、和气液分离器(9)的出气口连接,所述气液分离器(9)与加热器(12)之间的管路上设有氮气置换装置(13)。

全文数据:

权利要求:

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