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申请/专利权人：内蒙古沐邦新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种多晶提纯炉的硅料投料方法，包括通道料仓，通道料仓上设有真空管路，所述真空管路上连接设有三通管，真空管路内设置有单独控制的电磁阀；三通管的两个自由端分别连接抽真空组件和小料仓；小料仓上分别设有进料口和抽真空口，抽真空口连接有抽真空组件；S1：投入所需硅料至小料仓区熔；S2：启动抽真空组件对小料仓内预抽真空备用；S3：控制小料仓通过三通管由真空管路送料至通道料仓；S4：重复步骤S1‑S3使用。本发明与现有技术相比的优点在于：提供一种防止堵塞硅料，保证下料使用，防止晶棒质量波动的一种多晶提纯炉的硅料投料方法。
主权项：1.一种多晶提纯炉的硅料投料方法，包括通道料仓，通道料仓上设有真空管路，其特征在于：所述真空管路上连接设有三通管，真空管路内设置有单独控制的电磁阀；三通管的两个自由端分别连接抽真空组件和小料仓；小料仓上分别设有进料口和抽真空口，抽真空口连接有抽真空组件；S1：投入所需硅料至小料仓区熔；S2：启动抽真空组件对小料仓内预抽真空备用；S3：控制小料仓通过三通管由真空管路送料至通道料仓；S4：重复步骤S1-S3使用。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古沐邦新材料有限公司 一种多晶提纯炉的硅料投料方法
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