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申请/专利权人：河南一驰发半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了单晶硅棒清洁装置，包括底板，所述底板的上表面固定连接有清洗箱，所述清洗箱的正面设有防护门，所述清洗箱的内底壁固定连接有等距离排列的支撑板，每个所述支撑板的上表面均开设有等距离排列的防滑槽，每组所述防滑槽的内部均放置有单晶硅棒本体，所述清洗箱的背面固定连通有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有固定板，所述固定板的底面固定连接有清洁刷板，所述清洗箱的上表面开设有通孔。本装置通过泵体和喷水盘的配合，能够对单晶硅棒本体进行冲洗，同时利用电动推杆对清洁刷板反复移动，利用清洁刷板能够对单晶硅棒本体的表面进行清洁，减轻工作人员的工作量，提高对单晶硅棒本体清洁的效率。
主权项：1.单晶硅棒清洁装置，其特征在于：包括底板1，所述底板1的上表面固定连接有清洗箱2，所述清洗箱2的正面设有防护门11，所述清洗箱2的内底壁固定连接有等距离排列的支撑板3，每个所述支撑板3的上表面均开设有等距离排列的防滑槽4，每组所述防滑槽4的内部均放置有单晶硅棒本体22，所述清洗箱2的背面固定连通有电动推杆5，所述电动推杆5的输出端固定连接有固定板6，所述固定板6的底面固定连接有清洁刷板7，所述清洗箱2的上表面开设有通孔8，所述清洗箱2的上表面安装有泵体9，所述泵体9的输出端安装有喷水盘10，所述泵体9的输入端安装有连接环12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南一驰发半导体有限公司 单晶硅棒清洁装置
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