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申请/专利权人：深圳市中金岭南有色金属股份有限公司韶关冶炼厂
摘要：本实用新型公开了一种可控磷化铟单晶生长装置，包括炉膛管和具有安装通道的筒体，所述筒体的顶部和底部分别设置有上端盖和下端盖，所述上端盖和所述下端盖用以封闭所述安装通道，所述上端盖和所述下端盖均设置有贯穿的进气孔，所述进气孔连通所述安装通道。所述炉膛管设置于所述安装通道内，所述炉膛管的外壁包覆有加热体，所述炉膛管内设置有石英安瓿，所述石英安瓿内设置有热解氮化硼坩埚和石英帽，所述石英帽位于所述氮化硼坩埚的上部，所述氮化硼坩埚填充有多晶料，所述炉膛管的底部套装有石英套管，所述炉膛管的底部伸出风管，所述风管连通所述石英套管和所述炉膛管内，所述石英套管内设置有轴流风机。
主权项：1.一种可控磷化铟单晶生长装置，其特征在于，包括：筒体，具有安装通道，所述筒体的顶部和底部分别设置有上端盖和下端盖，所述上端盖和所述下端盖用以封闭所述安装通道，所述上端盖和所述下端盖均设置有贯穿的进气孔，所述进气孔连通所述安装通道；炉膛管，设置于所述安装通道内，所述炉膛管的外壁包覆有加热体，所述炉膛管内设置有石英安瓿，所述石英安瓿内设置有热解氮化硼坩埚和石英帽，所述石英帽位于所述氮化硼坩埚的上部，所述氮化硼坩埚填充有多晶料，所述炉膛管的底部套装有石英套管，所述炉膛管的底部伸出风管，所述风管连通所述石英套管和所述炉膛管内，所述石英套管内设置有轴流风机，所述轴流风机正转或翻转以带动所述炉膛管的热流移动，以改变局部热区温度。
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权利要求：
百度查询： 深圳市中金岭南有色金属股份有限公司韶关冶炼厂 可控磷化铟单晶生长装置
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