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申请/专利权人：嘉兴博瑞半导体装备有限公司
摘要：本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，且公开了一种温度均性好的沉积炉，包括工作台，工作台的中部设置有反应炉，反应炉的上表面设置有炉盖，炉盖的上表面固定安装有第一伺服电机，炉盖的内壁活动安装有主动齿轮，从动齿轮的下表面固定安装有搅拌杆，炉盖的下表面固定安装有连接柱，连接柱的下端固定安装有底板，凹槽的左右内壁固定安装有第一伸缩杆，第一伸缩杆的相邻近一端固定安装有夹板，夹板的内壁固定安装有齿条，凹槽的上内壁活动安装有活动齿轮，本实用新型达到了能够对不同规格的工件进行固定，避免其在加工过程中出现移动的现象，同时通过搅拌的方式也能确保加工过程中其内部受热均匀，提高了设备的实用性。
主权项：1.一种温度均性好的沉积炉，包括工作台1，其特征在于：所述工作台1的中部设置有反应炉2，所述反应炉2的上表面设置有炉盖3，所述炉盖3的上表面固定安装有第一伺服电机4，所述炉盖3的内壁活动安装有主动齿轮5，所述主动齿轮5的外表面啮合连接有传动齿轮6，所述传动齿轮6的外表面啮合连接有从动齿轮7，所述从动齿轮7和主动齿轮5的下表面固定安装有搅拌杆8，所述炉盖3的下表面固定安装有连接柱9，所述连接柱9的下端固定安装有底板10，所述底板10的上表面开设有凹槽11，所述凹槽11的左右内壁固定安装有第一伸缩杆12，所述第一伸缩杆12的相邻近一端固定安装有夹板13，所述夹板13的内壁固定安装有齿条14，所述凹槽11的上内壁活动安装有活动齿轮15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 嘉兴博瑞半导体装备有限公司 一种温度均性好的沉积炉
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