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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供用于测量基板温度的设备和方法。在一个或多个实施方式中，提供用于估计温度的设备且包含：多个电磁辐射来源，放置该多个电磁辐射来源以发射电磁辐射朝向反射平面；和多个电磁辐射检测器。放置每一电磁辐射检测器以对由该多个电磁辐射来源的对应电磁辐射来源所发射的电磁辐射采样。该设备也包含高温计，放置该高温计以接收该多个电磁辐射来源所发射且自设置于反射平面处的基板所反射的电磁辐射及基板所发射的电磁辐射。该设备包含处理器，该处理器经配置以基于由该基板所发射的电磁辐射来估计基板温度。也提供估计温度的方法。
主权项：1.一种用于估计温度的设备，包括：多个电磁辐射来源，放置所述多个电磁辐射来源以发射电磁辐射朝向反射平面；多个电磁辐射检测器，每一电磁辐射检测器包括探针头，所述探针头经配置以接收电磁辐射，所述探针头放置于所述电磁辐射来源与所述反射平面之间的位置处以为了对由所述多个电磁辐射来源的对应电磁辐射来源所发射的电磁辐射采样；高温计，放置所述高温计以接收源自所述多个电磁辐射来源且自所述反射平面反射的电磁辐射；和处理器，所述处理器经配置以基于由所述高温计所接收和由所述电磁辐射检测器所采样的电磁辐射来输出温度估计。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于测量温度的方法和设备
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