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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；二氯二氢硅储罐与反应釜上部的进料口连通，甲醇储罐与反应釜中部的进料口连通，氯化氢储罐与反应釜底部的进气口连通，反应釜顶部的气相出口通过管线与冷凝装置的进口连通，冷凝装置的冷凝液出口通过管线与分离塔的进料口连通，分离塔底部的塔釜液出口通过管线与提纯塔的进料口连通，提纯塔底部的塔釜液出口通过管线与产品储罐的进口连通。优点：得到的五氯乙硅烷纯度可高达99.99%，达到制备高端集成电路对五氯乙硅烷的要求；可以大大降低五氯乙硅烷生产成本，并能解决目前只能从国外进口的问题。
主权项：1.一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，其包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；所述二氯二氢硅储罐与所述反应釜上部的进料口连通，所述甲醇储罐与所述反应釜中部的进料口连通，所述氯化氢储罐与所述反应釜底部的进气口连通，所述反应釜顶部的气相出口通过管线与所述冷凝装置的进口连通，所述冷凝装置的冷凝液出口通过管线与所述分离塔的进料口连通，所述分离塔底部的塔釜液出口通过管线与所述提纯塔的进料口连通，所述提纯塔底部的塔釜液出口通过管线与产品储罐的进口连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统
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