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申请/专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
摘要：本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成于振动支撑层上方；压电层，形成于第一电极层上方；第二电极层，形成在压电层上方，第一电极层和第二电极层中的一个具有周向的第一分割槽和径向的第二分割槽，以将第一电极层和第二电极层中的一个分割成分隔开的中间区域和外围区域，第一电极层和第二电极层中的另一个具有相连的中间区域和外围区域。本申请通过在MEMS结构内设置具有第一分割槽的第二电极层或第一电极层，使得中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层能够输出电压反号，有效减少了电荷中和，从而提高了MEMS结构的输出灵敏度。
主权项：1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；第一电极层，形成于所述振动支撑层上方；压电层，形成于所述第一电极层上方；第二电极层，形成在所述压电层上方，所述第一电极层和所述第二电极层中的一个具有周向的第一分割槽和径向的第二分割槽，第一分割槽将所述第一电极层和所述第二电极层中的所述一个分割成分隔开的中间区域和外围区域，所述第一电极层和所述第二电极层中的另一个具有相连的中间区域和外围区域；其中，所述第一电极层和所述第二电极层在径向上均具有所述第二分割槽；所述压电层的压电材料包括：氧化锌、氮化铝、有机压电材料、锆钛酸铅、钙钛矿型压电材料中的一种或多种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽奥飞声学科技有限公司 一种MEMS结构
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